Physics of Charge Accumulation and Technology Development for Robust Capacitive RF MEMS Switches

摘要

电容式RFMEMS开关依其无与伦比的系统集成特性和出色的工作性能，成为在军事和商业无线通信领域中应用前景最为广泛、最基础的微致动控制器件之一。然而可靠性问题却成为其商业化的瓶颈，最主要的失效形式就是由介质中的电荷积累造成的开关不可逆转的“粘连”效应。尽管多年来国内外很多科研小组一直致力于解决该失效问题，依然没有找到能够控制电荷积累切实可行的方法，甚至电荷积累的基本机制尚不清晰。 本项目以静电吸附失效机理的理论模型研究为基础，以学术界尚不十分明确的RFMEMS开关电介质层中电荷积累和弛豫机理作为本项目的理论攻坚，旨在探索电容式RFMEMS开关早期失效的解决方案。在研究中，我们利用金属－电介质－...