Al-doped ZnO (AZO) thin film deposited by RF magnetron sputtering and its application on multicrystalline solar cell

摘要

掺Al的ZnO薄膜（简称AZO）不但制备简单、价格低廉、无毒无害而且具有透明、导电等优良特性。本文试图将AZO这些特性用于多晶硅半导体太阳电池制备中，希望能降低电池的成本、提高电池的性能。本文主要的工作和成果如下： 1.研究了室温下工艺条件（溅射功率、氩气流量）对AZO薄膜电学、光学、结构、表面形貌等性质的影响，获得AZO薄膜制备的最佳工艺条件：溅射功率150W，氩气流量60sccm（气体压强为0.6Pa）。 2.研究了退火对磁控溅射AZO薄膜性能的影响。在N2氛围中的退火，发现退火对此条件溅射的AZO薄膜的透射光学性质影响不大，在可见光区域透射率均在90%左右。 3.首次研究了形成AZ...