Research of Signal Conditioning of Semiconductor Piezoresistive Pressure Sensor

摘要

传感器技术有着极其广泛的应用领域，在推动发展经济与社会进步方面起着重要的作用。半导体压阻式压力传感器是利用半导体材料硅的压阻效应，采用压阻全桥原理设计制成的，具有灵敏度高、动态响应快、测量精度高、稳定性好、工作温度范围宽、易于小型与微型化、便于批量生产与使用方便等特点，是一种发展迅速、应用广泛的新型传感器。但由于半导体才材料的温度特性，半导体压阻式压力传感器会产生温度漂移现象，这在相当程度上限制了半导体压阻式压力传感器的使用。因此，对半导体压阻式压力传感器进行温度特性补偿显得尤为重要。 半导体压阻式压力传感器的信号调理包括零点失调（ZeroOffset，Zero-O）补偿、零点温度漂移（Ze...