Preparation and investigation on the properties of FeCo-based nanocrystalline soft-magnetic film materials

摘要

铁钴基纳米晶软磁合金薄膜具有优异的磁学性能，因此在记录磁头、记录磁盘衬底层、微电感、薄膜变压器等高频电子器件方面得到广泛的应用。磁性元器件的微型化和高频化对具有优良高频特性的纳米晶软磁合金薄膜有着迫切的需求，因而开发一些优良高频特性的纳米晶软磁合金薄膜是十分必要的。本论文基于磁控溅射方法，对Fe-Co-O、Fe-Co-Cr-N以及Fe-Co-Ti-N三个纳米晶软磁合金薄膜系统进行了样品制备、结构表征、电学特性以及磁学特性的研究。 本研究的主要工作如下： (1)采用磁控溅射方法，通过调控工艺参数(工作气压、Cr或Ti靶溅射功率、N2或O2流量比、溅射时间)制备出Fe-Co-O、Fe-Co...