A study on high isolation RF MEMS switch

摘要

微机电系统（MEMS）是国际上近二十年来新兴的一项热门技术。射频（RF）MEMS器件可以认为是用MEMS技术实现的、用于从低频到红外线以下频段信号的产生与处理的微型化可集成器件，这其中就包括了微机电射频开关。从1971年第一个射频开关被制作出来至今，射频开关的研发已经取得了很大的进展。理想的射频开关应具有高的隔离度和数百万次的循环使用寿命。本课题的任务就是设计并制作一种这样的开关。本论文对高隔离射频开关的结构进行了设计、分析和讨论，并详细论述了制作过程中的工艺步骤。全文共分为四章：第一章介绍了开关的参数、分类、一些典型开关的性能和制作工艺，最后还谈到了开关设计中要考虑到的某些问题。第二章设计了...