Preparation of PDC-SiCNO ceramics with micro / nano structures

摘要

微/纳结构陶瓷如微执行器、微传感器、分子筛及催化剂载体等在军工航天、微电子、医疗设备、生物细胞学等各个领域获得了广泛的应用，并朝着精密化、图案化和微型化的方向发展。最近，国际上发展出一种新型有机聚合物前驱体热解法制备陶瓷的工艺(PolymerDerivedCeramics，简称PDC陶瓷)，具有分子可设计性、液相成型和低温烧结成型等特点，是制备微/纳米陶瓷结构的优良选材。嵌段共聚物自组装技术能构建出形态多样且长程有序的复杂微观结构，是制备高精度微观结构的主流技术。因此，本文以嵌段共聚物F127(PEO106-PPO70-PEO106)为模板剂，聚乙烯硅氮烷(PVSZ)为陶瓷先驱体，结合嵌段共聚...