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In-situ visualization of nanosecond laser-materials processes and the functional structures preparation of thin film

机译:纳秒激光材料工艺的原位可视化以及薄膜的功能结构制备

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摘要

新型材料和新结构的开发和利用一直是微电子和光电子领域的研究热点,而与传统材料加工技术相比,纳秒脉冲激光技术在材料功能性结构制备领域具有得天独厚的优势:首先是非接触加工,材料兼容性强;其次是适合微小尺寸加工,通过控制激光光斑形状和尺寸可以制备尺寸可控的表面功能性结构;更为重要的是纳秒脉冲激光可以实现激光能量在超短时间内与材料发生相互作用,因此纳秒脉冲激光加工技术在材料表面微结构制备领域占有举足轻重的地位。本文主要围绕纳秒脉冲激光在诱导Si基半导体薄膜材料表面周期性纳米结构及功能性金属薄膜电极材料制备领域展开研究;并通自己设计和搭建的时间分辨图像平台(Time-resolvedimage)与原位泵...
机译:新型材料和新结构的开发和利用一直是微电子和光电子领域的研究热点,而与传统材料加工技术相比,纳秒脉冲激光技术在材料功能性结构制备领域具有得天独厚的优势:首先是非接触加工,材料兼容性强;其次是适合微小尺寸加工,通过控制激光光斑形状和尺寸可以制备尺寸可控的表面功能性结构;更为重要的是纳秒脉冲激光可以实现激光能量在超短时间内与材料发生相互作用,因此纳秒脉冲激光加工技术在材料表面微结构制备领域占有举足轻重的地位。本文主要围绕纳秒脉冲激光在诱导Si基半导体薄膜材料表面周期性纳米结构及功能性金属薄膜电极材料制备领域展开研究;并通自己设计和搭建的时间分辨图像平台(Time-resolvedimage)与原位泵...

著录项

  • 作者

    亓东锋;

  • 作者单位
  • 年度 2016
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 zh_CN
  • 中图分类

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