Thermal Analysis and Surface Texture of Silicon-based Micromachined Infrared Emitter

摘要

红外光源是NDIR（Non-DispersiveInfrared）气体传感系统中的核心部件，相比其他红外光源，由MEMS（Micro-ElectromechanicalSystems）工艺所制备的硅基红外光源具有体积小，能耗低，调制频率高的特点，在微型气体传感器中具有难以取代的优势，在近年来成为了研究的热点。 本文在实验室已有红外光源的基础上进行改良分析。论文的主要内容包含以下两个部分：硅基红外光源的热电模拟分析和改进设计；提高光源辐射率的研究。 结合理论分析，本文着重对平面式薄膜结构的硅基红外光源进行了模型分析，该模型延续了薄膜结构的优点，使用SOI硅片为基底，SOI晶片上的单晶硅层通过...