Study of GHz Surface Acoustic Wave Humidty Sensor Using Nanostructured Materials

摘要

随着物联网应用的不断扩展，需要大量传感器节点组成无线传感网络以实现未来万物互联的目标。其中，湿度测量器件在智能家居、气象、工业控制等领域是最为广泛和基础的传感器节点。为了实现无线传感网络，现有的电阻、电容型传感器件需要独立的电源系统持续供电，而在电池容量有限的条件下，器件需要采用占空比方式工作，即在高功耗的传感工作状态之间加入待机模式，以减小传感器节点的总功耗。由于待机模式的存在，无法对整个环境状态进行实时、无缝的检测，且由于构成节点的传感元件一般属于相对高功耗的器件，电池寿命始终有限。声表面波（surfaceacousticwave，SAW）传感器由于无需额外能量，即可通过压电材料和叉指电极...