Research of FPC Quality Detection Optical Probe based on Differential Astigmatic Principle

摘要

随着便携电话、数字摄像和薄型TV等民用设备的迅猛发展，满足高密度化、小型化、灵活组装要求的柔性电路板（FPC，FlexiblePrintedCircuit）的市场需求急剧增长。在FPC的质量检测过程中，电参数的测量手段较多，但涉及产品寿命的参数，如微小裂纹、折痕等表面质量的检测以人工检验为主，不仅费时、效率低、易疲劳，且主观检验可考性低，相对于成熟的生产技术，FPC质量检测的低效率已成为制约生产效率的主要瓶颈。 FPC表面质量检测主要是检测轮廓形状、几何形状尺寸与粗糙度（或表面微观形貌），其中表面微小尺寸的实时非接触测量是一个难点。在许多情况下，待测表面不连续，且有许多台阶高度。常用的干涉显...