Devices of Graphene Synthesized by Laser Chemical Vapor Deposition and Research on the Key Technologies

摘要

基于石墨烯优异的电子、机械、热学、光学性能以及广阔的应用前景，自2004年被发现以来迅速成为材料学与物理学领域的研究热门。目前，制备石墨烯的方法有很多，但是如何实现石墨烯的快速生长、生长区域的可控性、微区生长以及非转移生长一直是石墨烯在电子器件上应用必须解决的问题。通过对石墨烯多种制备方法的比较，我们发现激光化学气相沉积法（LaserChemicalVaporDeposition,LCVD）是最有可能实现这一要求的方法，本文也将采用该方法进行石墨烯的制备，并对LCVD法制备石墨烯过程中若干关键技术进行研究，主要工作有： 1、介绍了石墨烯的概念、性质及应用，对当前多种的石墨烯激光法制备技术进行...