Study of SnO_x doped with Cu as negative electrode material for micro thin film Li-ion battery

摘要

研究了掺杂Cu的Sn的氧化物薄膜,它可以作为微型薄膜锂电池负极材料。这种薄膜是采用磁控溅射的方式,在硅基底上沉积了SnOX和金属Cu。Xrd分析和SEM观察表明:随着金属Cu掺杂量的增加,所制备薄膜由晶态趋向于非晶态,有利于锂离子的嵌入与脱出。恒电流充放电测试表明:随着金属Cu掺杂量的增加,SnOX薄膜放电容量有所增加,循环性能有很大的提高。这种掺杂Cu的SnOX薄膜的制备方法可用于微型薄膜锂离子电池。