Fabrication and Performance for All-Solid-States Thin Film Lithium-Ion Batteries

摘要

MEMS技术的发展对微能源的微型化和集成化提出更高的要求，希望将微能源直接集成在微器件当中。在此背景下，微型薄膜锂电池因其高能量密度、高开路电压、循环寿命长等优势，而受到了人们的重视，是一种应用前景广泛的微型电池。 由于电极材料的性能对微电池性能有巨大影响，所以本文首先采用磁控溅射方法制备了用于正极材料的LiCoO2薄膜，并对其进行退火处理。XRD分析和SEM分析表明在低气压条件下制备的薄膜呈非晶态，但是经过400℃退火后，薄膜沿（003）峰相呈晶体结构，且排列致密；循环伏安测试和恒电流充放电测试表明，未经过退火处理的LiCoO2薄膜不具有锂离子嵌入/脱出的可逆性，而经过退火处理的LiCoO...