Research on The Machining Technology of Lens Array Based on FTS and The Machining Equipment Development

摘要

科技的发展带动现代仪器朝着光、机、电一体化的微结构趋势发展，透镜作为一种重要的光学元件在民用和军用工业领域都有着广泛的应用。用于高精密仪器设备中的透镜不仅要有优越的光学性能，而且也要有微型化和高集成化的结构，因此透镜微结构中的代表——透镜阵列便应运而生。随着对透镜阵列的应用要求不断提高，传统透镜的加工方法已经很难适用于透镜阵列的加工，因此国内外将目光投向了新的超精密加工方法。其中，基于快刀伺服技术（FTS）的复杂微结构加工具有高频响、高定位精度和高加工精度等突出优点，已然成为微车削加工的主流技术之一。目前，国外许多国家已经成功运用该项技术加工出了高精度的透镜阵列元件，相关产品已应用于工业领域，...