Development of Parameters Acquisition and Database on Ultra-precision Machining Environment Monitoring System

摘要

大口径非球面光学元件在激光核聚变装置、高能激光、红外热成像、大型天文望远镜、卫星用光学系统、医疗影像设备等国家重大光学工程及国防尖端技术中有着广泛的需求。大口径非球面光学元件在高尖端技术领域的广泛应用对其表面加工精度提出了越来越高的要求，而当前我国自主设计研发的精密超精密加工装备与国外相比有着较大的差距，因此，对精密超精密加工装备及其关键技术的研究具有非常重要的意义。精密超精密加工与机床、刀具、工件、控制和监测系统以及加工环境等因素密切相关，这些因素的综合参数性能决定了超精密加工的加工精度。以超精密磨削加工为例，影响加工精度的主要因素有：磨削热与磨削温度、砂轮轴与磨床主轴微振动、砂轮磨损以及加...