Research on stitching measurement technology for large aspheric optics during grinding process

摘要

大口径非球面光学元件能校准像差，提高像质，减小光学系统的体积和重量，并增加光学系统的可靠性，因此其被广泛应用于航空航天、国防等先端科研技术领域。磨削阶段大口径非球面元件的面形检测是制约其推广应用的重要因素。坐标测量技术是实现磨削阶段光学元件面形检测的重要手段，但是该技术在解决大口径、高陡度非球面元件的高精度测量上仍存在一系列技术问题需要解决，比如自主开发的轮廓仪因成本高昂大多难以推广，轮廓仪测头传感器有效测量行程不足，待测工件的大尺寸相比轮廓仪运动量程受限，多段拼接方法测量效率与精度不足且无法实现对非球面三维面形的测量等。针对上述问题，本文对基于商用式小量程高精度轮廓仪的磨削阶段大口径非球面光...