Design and Fabrication of Silicon-based Micromachined Infrared Emitter

摘要

随着经济的迅速发展，工业生产和交通运输等产生的气体对环境的污染日益严重，人们对空气质量的监测提出了更高的要求。红外气体传感器选择性好、灵敏度高，在气体定性和定量分析方面应用非常广泛。作为红外气体传感器的重要部件，红外光源的性能很大程度上决定了红外传感器的性能。与传统红外光源相比，采用微电子机械系统（MEMS）加工技术制备的红外光源具有体积小、功耗低、可调制和成本低的特点，使它受到人们的广泛关注，成为当前研究的重点。 本文设计并加工了一种新型的硅基微机械红外光源，下文简称MEMS红外光源，并对其进行了光谱特性，调制特性和可靠性测试研究。在MEMS红外光源设计中，选用多晶硅材料作为光源的发光材料...