Research on Precision Testing Technology of Small Optical Aspheric Surface

摘要

在光学系统中采用非球面元件可以获得高成像质量，提高光学特性，简化系统结构，减小系统体积。一直以来，非球面元件制造难，检测技术更是非球面制造技术中的瓶颈，各国专家和学者投入大量的人力和物力全方位地研究非球面元件的加工和检测问题。 本课题来源于国家863计划课题“0.1μm非接触传感器”、福建省“高等学校科技创新团队培育计划”（IRTSTFJ）和厦门大学重大科技创新项目“微纳米加工控制与检测系统研制”。根据小型非球面面形检测的需要，本文针对一种自行研制的具有接触式和非接触式传感器测头的非球面检测平台，完成了高精度非球面检测平台的搭建和测量软件设计。文中介绍了该检测平台的工作原理；完成了测量软件模...