Experimental Research on Micro-electroforming for Fabricating Cantilever Used in Micro-machined Tunneling Gyroscope

摘要

悬臂梁式微机械隧道陀螺仪是一种以悬臂梁作为换能构件，以电子隧道效应作为输出敏感方式的高精度和高灵敏度的角振动传感器，解决了传统微机械陀螺仪因尺寸减小而导致的灵敏度降低的缺点。加工工艺是制约其产业化的关键。悬臂梁是其核心构件，它将输入的角速度转为梁的振动位移，为了达到高的响应频率和输出，悬臂梁应达到一定的厚度和尺寸精度，这给悬臂梁的制作带来一定的难度。本文利用近紫外线厚胶光刻和微电铸的方法实现悬臂梁的制作，主要的研究工作包含如下几个部分：  根据微机械隧道陀螺仪的工作原理和悬臂梁的结构特点，分析制作要求和工艺难点；查阅资料了解当前主要的MEMS加工工艺，特别是三维结构的加工，选...