Preparation and Optical Properties of Micro/nano-structures

摘要

目前，纳米技术正在向新材料、微电子、计算机、医学等诸多领域渗透，但是纳米技术的应用研究尚不成熟，其中纳米结构制备技术水平是制约纳米科技发展的关键因素之一。近十几年来，纳米结构制备技术的研究有了很大的进展，其中廉价高效的纳米压印技术被认为是本世纪最有发展前景的十大关键技术之一。在开发新技术的同时，人们也在不断尝试对已有纳米结构制备技术的改进。例如：在硅表面微纳结构的制备中，金属辅助无电极电化学腐蚀方法已得到广泛的关注。为了获得廉价有效的微纳结构制备技术，本论文对纳米压印技术及金属辅助无电极电化学腐蚀方法进行了研究。 首先，在对纳米压印技术的研究中，我们自制了热压印设备，并且利用其在两种不同的新...