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Study on Signal Detecting and Controlling System for Micro-machined Tunneling Gyroscope

机译:微机械隧道陀螺仪信号测控系统研究

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摘要

梁式微机械隧道陀螺仪由微机械结构、驱动、微弱信号检测和反馈控制等四个部分组成。在完成微机械陀螺仪结构制作的情况下,驱动、微弱信号检测和反馈控制系统对器件的性能起着关键作用。 微机械隧道陀螺仪敏感的隧道电流很微弱(nA级),容易被干扰和噪声淹没;发生隧道效应的间隙范围小,电流与角速度信号呈非线性关系。这些将严重影响陀螺仪的测量范围和精度。本文试图通过精心设计微弱电流的放大处理电路,提高放大装置的精度、灵敏度、动态响应特性以及抗干扰能力;研究悬臂梁的位置再平衡反馈控制系统,以保持隧道间隙相对稳定,从而扩大陀螺仪的测量范围。具体主要包括: 1、 根据梁式微机械隧道陀螺仪的工作特点,设计出陀螺仪隧...
机译:梁式微机械隧道陀螺仪由微机械结构、驱动、微弱信号检测和反馈控制等四个部分组成。在完成微机械陀螺仪结构制作的情况下,驱动、微弱信号检测和反馈控制系统对器件的性能起着关键作用。 微机械隧道陀螺仪敏感的隧道电流很微弱(nA级),容易被干扰和噪声淹没;发生隧道效应的间隙范围小,电流与角速度信号呈非线性关系。这些将严重影响陀螺仪的测量范围和精度。本文试图通过精心设计微弱电流的放大处理电路,提高放大装置的精度、灵敏度、动态响应特性以及抗干扰能力;研究悬臂梁的位置再平衡反馈控制系统,以保持隧道间隙相对稳定,从而扩大陀螺仪的测量范围。具体主要包括: 1、 根据梁式微机械隧道陀螺仪的工作特点,设计出陀螺仪隧...

著录项

  • 作者

    郑剑铭;

  • 作者单位
  • 年度 2004
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种 zh_CN
  • 中图分类

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