Processing Control and Error Analysis of Microstructure Surface Based on 2-axis FTS Platform

摘要

微结构表面是指面形精度达到亚微米级且具有特定功能的微小表面，其主要的特征在于结构的功能性，如微结构表面光学元件的表面结构决定了对光线的反射、折射或衍射性能，便于优化光学系统，减轻重量，缩小体积，因此在国防科技领域和民用工业领域都体现出重要的应用价值和广阔应用前景。近年来，国内外对微结构表面制造技术的研究不断深入，其中基于快刀伺服（FTS）的超精密车削技术以其高频响、高定位精度和高加工精度等特点，逐渐成为微结构表面车削加工的主流技术之一。目前快刀伺服加工主要的研究方向是通过提高快刀伺服加工机床的运动精度来提高微结构表面加工精度，但是该方法对设备要求高、成本大，在现有制造技术水平条件下，基于机床特...