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【2h】

Electrodeposition of Copper in a Citrate Bath and Its Application to a Micro-Electro-Mechanical System

机译：柠檬酸盐浴中铜的电沉积及其在微机电系统中的应用

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作者
吴伟刚; 杨防祖; 骆明辉; 田中群; 周绍民;
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作者单位

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年度 2010
总页数
原文格式 PDF
正文语种 zh
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