Novel Electrochemical microfabrication Methods and Applications Based on Confined Chemical Etching

摘要

微/纳米技术正逐步广泛深入地渗透于材料、信息、能源、微电子、环境、生物、医学和国防安全等众多领域。为了将微/纳米科技领域的这些革命性产品/系统概念转化为规模化的实际应用，微/纳米制造技术是不可或缺的技术桥梁。发展高精度、低成本的批量化微/纳制造技术具有十分重大的战略意义。 虽然目前已经发展出了许多批量化的微/纳米制造技术，但是在半导体表面批量加工复杂三维多级结构仍然存在着巨大挑战。约束刻蚀剂层技术(CELT)是由田昭武院士提出的具有完全国内知识产权的电化学微/纳加工技术。CELT不仅能批量复制加工复杂三维微/纳结构，而且加工材料可以是导体、半导体或绝缘体。因而相比其他微/纳制造技术具有十分突...