Research of 6.835GHz Microwave Devices in Miniaturized Rubidium Atomic Clock

摘要

铷气室型原子频标结构简单、体积小、重量轻，并且具有良好的稳定性，因此得到了广泛应用。近年来，由于MEMS技术的迅速发展，以及小型原子钟在实际应用上的优越性，实现铷原子频标的微小型化成为各国的主要研究热点。针对铷原子频标的量子部分中需要提供6.835GHz的微波信号，本文主要从微小型化方向研究提供该信号的两种微波器件：介质谐振腔和MEMS电感，并对MEMS电感微制造过程中的电镀工艺做了详细研究。论文主要分为以下三个部分： 第一，对铷原子频标中6.835GHz微波谐振腔进行小型化研究，通过填充高介电常数的陶瓷介质来减小谐振腔的体积。首先，利用混合磁壁法分析介质谐振腔内电磁场分布和频率变化，并根据...