Investigation on preparation and properties of the AlCrN and TiAlN hard coatings

摘要

过渡族金属氮化物硬质涂层由于其高的表面硬度、优异的耐磨损性能和良好的化学稳定性，在机械加工、航空航天、汽车制造等领域，被作为刀具、核心机械部件等的防护材料而得到广泛的应用。现代工业的飞速发展对硬质防护涂层综合性能的要求日趋提高，硬质涂层开发相应地逐渐趋于多元、多层、复合方向发展。含Al的AlCrN、TiAlN等三元亚稳固溶体涂层由于其高的硬度及高温抗氧化能力等突出特点而受到广泛关注。 本文采用反应磁控溅射的方法制备AlCrN、TiAlN系列涂层，通过EPMA成分分析、XRD物相结构分析、台阶仪膜厚测试、SEM微观形貌观察、纳米压痕仪硬度测试、划痕仪结合力测试，系统地研究了溅射方式以及工艺参数...