Research on Bonnet Polishing Machine Tool Precision and Optics Surface Mid-spatial Frequency Error Controlling Technique

摘要

大口径自由曲面光学元件广泛应用于强激光装置、大型天文望远镜、卫星用光学系统等大中型光学系统中，随着国家重大光学工程及国防尖端技术对它们的需求量越来越大，实现大口径自由曲面光学元件的高效、高精度加工是光学元件制造领域需要解决的关键问题。抛光加工作为大口径自由曲面光学元件超精密加工的一个重要工序，其材料去除效率、加工精度以及加工表面纹理控制等对光学元件的最终质量有重要影响。气囊抛光技术采用具有一定充气压力的柔性橡胶气囊作为抛光工具，通过选取不同的工艺参数（如气囊充气压力、气囊压缩量、主轴转速、气囊头直径）可以有效地控制抛光材料去除效率以及对光学表面误差确定性地去除，从而获得高质量的大口径光学元件，...