Direct growth of hexagonal BN films on various substrates and induction of ZnO nanorod array for piezoelectric nanogenerators

摘要

近年来，随着二维材料受到广泛的关注，六角氮化硼(h-BN)由于其类石墨烯的层状晶体结构，且拥有独特的特性，如宽禁带(6.0eV)、高的热稳定性(>800ºC)、强机械强度等，成为新型材料研究的热点。在短波长光电器件、高功率和高频率电子器件的开发和需求日益提升的过程中，h-BN薄膜材料研究中也面对了几个关键性、挑战性的难题：其一，大规模生产的新型光电子器件对所需的二维材料有了更高的要求，强烈需要一个大尺寸（晶圆尺寸以上）的薄膜合成，特别是在大小有限的反应腔体中合成大尺寸的h-BN薄膜；其二，为了和成熟的半导体工艺和新型纳米材料结合，如何在不同类型的衬底上或者纳米材料的表面直接生长h-B...