Research of Dynamic Detection Optical Probe based on Principle of Differential Defocus

摘要

随着现代工业生产、航空航天等技术的发展，对光学、电子等器件表面形貌质量控制、关键机械零件表面的精确测量要求越来越高，要求测量传感器及其仪器的精度越来越高，结构也要求越来越小。由于现有测量精密物体表面形貌的方法存在着各种缺陷，在实际生产检测中，急需一种能测量非连续表面且集表面微观形貌和小尺寸测量于一体的实时、精密的非接触测量系统。 本课题采用差动离焦动态检测的方法，在光学测头的光路中引入调焦机构，达到自身调焦的目的。这种动态调焦光学测头解决了测量范围小的问题，且能实现实时、快速、精密的非接触测量，在实际生产的表面微观形貌和小尺寸检测中，可大大提高企业生产的自动化水平和生产效率。本文具体的研究内...