Research of Micro-displacement Detection Optical Probe Device based on Principle of Differential Defocus

摘要

随着微结构器件加工与检测技术、电子、信息等高新技术的不断发展和进步，市场需求日益个性化与多样化，未来先进制造技术发展的总体趋势是精密化、柔性化、智能化、清洁化、集成化和全球化。微纳米检测系统的研发与应用，必将为产品向高科技、高精度、高质量、高附加值及集成化方向发展带来巨大推动作用。 本文基于“差动离焦原理的微纳米检测光学测头研究”课题研究，开发了一种高精度、非接触和实时显示检测结果的光学测头装置。在研究差动象散法离焦原理的数学模型的基础上，将测头装置光路集成化和微型化，为其实际应用于工业产品的在线检测提供了可能性。 本文完成的具体研究内容如下： (1)建立了差动象散法离焦光学检测信号的数...