Error Detection and Quality Evaluation of Ultra-Precision Machined Optical Surface

摘要

随着先进光学元件的设计和制造技术的发展，各种超精密加工光学元件被广泛地应用于航天、航空、国防、等领域中。与此同时，对光学元件的面形及其参数的检测、面形质量的评价提出了更高的要求。合理的误差检测方法及面形质量评价指标，对改善光学元件表面质量以及提高补偿加工的制造精度起着重要的作用。长期以来，误差检测技术的发展速度制约到超精密加工光学元件制造技术的进一步发展，各国专家投入大量的人力和物力进行研究。 本文主要针对超精密加工光学元件基于三维坐标测量的误差检测方法，和光学表面质量评估技术进行研究。由三维坐标测量值提取非球面光学表面方程参数，尤其针对面形标准方程复杂的非轴对称非球面，提出一种准确的参数拟...