Chemical treatment of monocrystalline cadmium telluride and Cd1-xMnxTe solid solutions by H2O2 – HI – citratic acid etchant compositions

摘要

У відтворюваних гідродинамічних умовах досліджено характер розчинення CdTe та Cd1-xMnxTe в розчинах системи НІ – Н2О2 – цитратна кислота. Побудовані поверхні однакових швидкостей розчинення (діаграми Гіббса), визначені лімітуючі стадії процесу розчинення вказаних напівпровідників. Встановлено області поліруючих, селективних та не поліруючих розчинів у вказаних системах. Виявлено, що внесення в твердий розчин Mn призводить до зменшення швидкості травлення та збільшення діапазону поліруючих розчинів.