A Surface Micromachined CMOS MEMS Humidity Sensor

机译：表面微加工CmOs mEms湿度传感器

代理获取

本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务，本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文，但由于OA文献来源多样且变更频繁，仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况，如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

页面导航

著录项
引文网络
相似文献
相关主题

著录项

作者
Jian-Qiu Huang; Fei Li; Min Zhao; Kai Wang;
展开▼
作者单位

展开▼
年度 2015
总页数
原文格式 PDF
正文语种
中图分类

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. A Surface Micromachined CMOS MEMS Humidity Sensor [J] . Ching-Liang Dai, Fei Li, Jian-Qiu Huang, Micromachines . 2015,第10期

机译：表面微加工CMOS MEMS湿度传感器
2. Piezoresistive temperature sensors fabricated by a surface micromachining CMOS MEMS process [J] . Chunhua Cai, Junyan Tan, Di Hua, Scientific reports. . 2018,第1期

机译：压阻温度传感器由表面微机械加工CMOS MEMS工艺制造
3. A CMOS MEMS Humidity Sensor Enhanced by a Capacitive Coupling Structure [J] . Wenhao Chen, Baoye Li, Jian-Qiu Huang Micromachines . 2016,第5期

机译：电容耦合结构增强的CMOS MEMS湿度传感器
4. A surface-micromachined MEMS acoustic sensor with 0.8 µm CMOS impedance transducer [C] . Proceedings of the Ninth IEEE Sensors Conference . 2010

机译：具有0.8 µm CMOS阻抗传感器的表面微机械加工MEMS声传感器
5. Temperature control of CMOS micromachined sensors. [D] . Lakdawala, Hasnain M. 2002

机译：CMOS微机械传感器的温度控制。
6. Piezoresistive temperature sensors fabricated by a surface micromachining CMOS MEMS process [O] . Chunhua Cai, Junyan Tan, Di Hua, -1

机译：通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
7. A CMOS MEMS Humidity Sensor Enhanced by a Capacitive Coupling Structure [O] . Jian-Qiu Huang, Baoye Li, Wenhao Chen 2016

机译：一种采用电容耦合结构增强的CmOs mEms湿度传感器
8. Micromachined sensor systems on a chip: The integration of MEMS with CMOS and its applications [R] . Smith, J. , Montague, S. , Sniegowski, J. 1997

机译：芯片上的微机械传感器系统：mEms与CmOs的集成及其应用

A Surface Micromachined CMOS MEMS Humidity Sensor

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅