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Direct-Write Photolithography for Cylindrical Tooling Fabrication in Roll-to-Roll Microcontact Printing

机译:直接写入光刻技术用于卷对卷微接触印刷中的圆柱形模具制造

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摘要

The scale-up of microcontact printing (μCP) to a roll-to-roll technique for large-scale surface patterning requires scalable tooling for continuous pattern printing with μm-scale features (e.g., 1–50 μm). Here, we examine the process of creating such a tool using an optical direct-write or “maskless” method working on a rotating cylindrical substrate. A predictive model of pattern formation is presented along with experimental results to examine the key control factors for this process. It is shown that factors can be modulated to vary the cross-sectional shape in addition to feature height and width. This feature can then be exploited to improve the robustness of the final printing process.
机译:将微接触印刷(μCP)放大到卷对卷技术以进行大规模表面构图需要具有可扩展性的工具,以进行具有μm尺度特征(例如1至50μm)的连续图案印刷。在这里,我们研究了使用光学直写或“无掩膜”方法在旋转的圆柱形基材上加工此类工具的过程。与实验结果一起提供了模式形成的预测模型,以检查该过程的关键控制因素。结果表明,除特征高度和宽度外,还可以对因子进行调制以改变横截面形状。然后可以利用此功能来提高最终打印过程的鲁棒性。

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