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机译:集成电路用竹al(Cu)互连的电迁移行为和可靠性
Srikar V. T. (Vengallatore Thattai) 1972-;
机译:晶体取向对竹粒结构互连电迁移受限可靠性影响的建模
机译:3D集成电路中Cu-Sn-Cu微焊盘电迁移失败的实验研究
机译:集成电路的亚微米互连特征中的电迁移
机译:非阻塞通孔对Cu互连电迁移和电路级可靠性评估的影响
机译:Al(Cu)互连中电迁移可靠性的研究。
机译:具有无通孔多层金属互连的高度堆叠3D有机集成电路
机译:电迁移下缺陷互连集成电路的可靠性评估
机译:用于集成电路的金属互连结构,具有改进的电迁移可靠性
机译:具有改进的电可靠性的集成电路的金属互连结构的制造方法
机译:具有改善的电迁移可靠性的用于集成电路的金属互连结构的制造方法
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