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Capacitive position-sensing system and electronics for a linear electrostatic micromotor

机译：用于线性静电微电机的电容位置传感系统和电子设备

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by Lily Y. Kim.

机译：莉莉·金（Lily Y.Kim）

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作者
Kim Lily Y. (Lily Yvonne) 1976-;
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作者单位

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年度 1998
总页数
原文格式 PDF
正文语种 eng
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入库时间 2022-08-20 21:11:15

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