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机译:纳米级精密电子束光刻技术及其在集成光学中的应用
Hastings Jeffrey Todd 1975-;
机译:电子束光刻和软光刻技术制造和集成聚合物集成光学器件
机译:使用电子束光刻和光刻到图案亚微米互连电极阵列的有趣路径,用于传感应用
机译:用于超薄膜应用的跨膜电子束光刻
机译:电子束散射参数提取方法在直写式电子束光刻中的邻近校正中的应用
机译:用于纳米压印光刻的新型模具制造方法以及纳米结构在光学和电子领域的一些应用。
机译:像差校正电子束光刻对悬浮石墨烯器件电子传输的影响的原位研究
机译:通过直接写电子束光刻技术制备的亚微米调制掺杂场效应晶体管/金属半导体基光电子集成电路接收器
机译:具有电子光学校正系统的电子束光刻设备
机译:含甲基丙烯酸金属盐的电子敏感性树脂及其在电子束光刻中的应用
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