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New routes to nitride materials : oxide precursors and nitrogen plasmas

机译：氮化物材料的新途径：氧化物前体和氮等离子体

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by Joel David Houmes.

机译：乔尔·大卫·霍姆斯（Joel David Houmes）撰写。

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作者
Houmes Joel David;
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年度 1996
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正文语种 eng
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