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Optimisation du dépôt par ablation laser de films minces d'alumine et de carbone tétraédrique amorphe pure et dopé; propriétés des couches et intégration dans le fabrication de composants MEMS RF

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Président : J. Desmaison : SPCTS / CNRS, Université de Limoges Rapporteurs : E. Million : LSMCL, Université de Metz C. Godet : LPICM Ecole Polytechnique Palaiseau Examinateurs : A. Catherinot : SPCTS / CNRS, Université de Limoges C. Champeaux : SPCTS / CNRS, Université de Limoges J.F. Coudert : SPCTS / CNRS, Université de Limoges Invité : P. Blondy : IRCOM / CNRS, Université de Limoges

机译：主席：J. Desmaison：里摩日大学SPCTS / CNRS报告员：E. Million：梅斯C.大学LSMCL /里摩日大学CNRS JF Coudert：SPCTS /里摩日大学CNRS嘉宾：P. Blondy：IRCOM / CNRS，里摩日大学

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作者
Orlianges Jean-Christophe;
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作者单位

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年度 2003
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正文语种 fr
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