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Calibration and Metrology for Micro/Nano Dimensional Quality Control. D3.5.:High Precision Micro Production Technologies - Collaborative project - Small or medium-scale focused research. 1.10.2012 – 30.9.2015

机译：微/纳米尺寸质量控制的校准和计量。 D3.5。：高精度微生产技术 - 协作项目 - 中小型重点研究。 1.10.2012 - 2015年9月30日

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Quagliotti Danilo; Tosello Guido; Agour M.; Flosky C.; Meier A.; Riemer O.; Dormann B.;
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年度 2015
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