首页> 外文OA文献 >Single-mask Step Integration of High-aspect Ratio Sub-micrometer Channels, Pure Silica Waveguides and Fiber Couplers for Separation Chips
【2h】

Single-mask Step Integration of High-aspect Ratio Sub-micrometer Channels, Pure Silica Waveguides and Fiber Couplers for Separation Chips

机译:用于分离芯片的高纵横比亚微米通道,纯硅波导和光纤耦合器的单掩模步进集成

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号