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【2h】

High-speed metal-semiconductor-metal photodetectors fabricated on SOI-substrates

机译：在SOI衬底上制造的高速金属-半导体-金属光电探测器

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Honkanen KE Katri; Hakkarainen N; Määttä K; Kilpelä A; Kuivalainen P Pekka;
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年度 1999
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