机译:IV-VI族氮化物的异质外延通过原子层沉积
机译:IV-VI族氮化物的异质外延通过原子层沉积
机译:具有高κ氧化物/氮化钨栅叠层的锗金属氧化物半导体场效应晶体管的绝缘氮化物界面层的原子层沉积
机译:金属电极氮化铌和铌氮化硅薄膜的原子层沉积
机译:用于直接板衬和铜扩散阻挡层应用的钌-氮化钛混合相层的等离子体增强原子层沉积。
机译:等离子增强原子层沉积法生长的电力电子应用氮化铝过渡层
机译:通过原子层沉积在Gaas(111)a上的(La_2O_3 \)和\(La_ {2-x} Y_xO_3 \)的异质外延:实现低界面陷阱密度