Von gewöhnlicher bis hin zu ungewöhnlicher spektroskopischer ellipsometrischer Invertierung zur optischen Charakterisierung dünner Schichten

摘要

Die vorliegende Dissertation befasst sich mit spektroskopischerudellipsometrischer Invertierung zu optischer Charakterisierung dünnerudSchichten. Diese Studie wirft einige spezifische Probleme derudkonventionellen Praxis sowie allgemeine Fragen betreffend des Antriebsudder Naturwissenschaften auf. Im Mittelpunkt steht die Problematik undudLösung der mathematischen Vorgänge zum Ziel einer möglichst genauenudInvertierung. Die kaum zu bremsende Steigerung der Leistungsfähigkeitudder modernen Computerprozessoren setzt eine neue Zeitwende in Gang,udindem die vielen Überprüfungen von vorhandenen Algorithmen und dieudBestrebungen nach intelligenteren zeitsparenderen Algorithmen, die zuudeinem Zeitalter modisch waren, schnell zu einer Kunst der Vergangenheitudgeworden sind. Im Hinblick auf diese Entwicklung wird die alte Tugenduddes Fleisses wiederbelebt und eine ungewöhnliche Lösung wirdudeingesetzt. Titanoxid- Siliziumoxid-, amorph KohlennitridwasserstoffundudFullerene- und Goldschichten werden untersucht.