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机译:微系统组件的测量方法比较:在深X射线光刻工艺(X射线LIGA)制成的微结构中的应用
机译:从金属,聚合物和陶瓷生产三维微观结构的深层X射线照相术
机译:深X射线光刻技术在英国发展精密微结构的现状
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机译:使用简单尺寸变换通过同步X射线平版印刷术制备各种角度的聚合物微结构
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机译:用于软X射线投影光刻应用的激光产生等离子体的X射线产生。