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【2h】

Development of a solderbump technique for contacting a three-dimensional multi electrode array

机译:用于接触三维多电极阵列的焊球技术的发展

摘要

The application of a solder bump technique for contacting a multi electrode sensor/actuator system is presented. Techniques adapted from the literature could successfully be scaled down to 55×55 ¿m bumps at 120 ¿m heart-to-heart spacing
机译:介绍了一种焊料凸点技术在接触多电极传感器/执行器系统中的应用。根据文献改编的技术可以成功缩小到心距120 µm的55×55 µm颠簸

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