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【2h】

The influence of adsorption kinetics on copper superfilling for dual damascene

机译：吸附动力学对双镶嵌铜填充铜的影响

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Liske Romy; Krause Robert; Uhlig Benjamin; Gerlich Lukas; Bott Sascha; Wislicenus Marcus; Preusse Axel;
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年度 2016
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