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Substrate wobble compensation for in situ spectroscopic ellipsometry measurements

机译:用于原位光谱椭偏仪的基板摆动补偿 测量

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摘要

Spectroscopic ellipsometry (SE) is an optical characterization technique that has been implemented on molecular beam epitaxy chambers for in situ characterization and growth control. SE measurements require collecting light reflected obliquely from the substrate. As the substrate is usually rotating during growth (to promote uniformity), acquiring accurate in situ SE data typically requires a substrate manipulator with low wobble (preferably \u3c0.1°). To overcome the low wobble manipulator requirement, the authors have designed and tested a return path SE configuration that compensates for the effects of substrate wobble. The prototype wobble compensation system demonstrated the near elimination of beam precession in the outgoing ellipsometer beam. The accuracy of the SE data acquired in the return path configuration during substrate rotation was also studied.
机译:椭圆偏振光谱法(SE)是一种光学表征技术,已在分子束外延腔室上实现,用于原位表征和生长控制。 SE测量需要收集从基板倾斜反射的光。由于基材通常在生长过程中旋转(以促进均匀性),因此获取准确的原位SE数据通常需要具有低摆动度(最好为u3c0.1°)的基材操纵器。为了克服较低的摆动操纵器要求,作者设计并测试了一种补偿衬底摆动影响的返回路径SE配置。原型摆动补偿系统证明了在出射的椭圆仪光束中几乎没有光束进动。还研究了在基板旋转期间以返回路径配置获取的SE数据的准确性。

著录项

  • 作者

    Johs, Blaine; He, Ping;

  • 作者单位
  • 年度 2011
  • 总页数
  • 原文格式 PDF
  • 正文语种
  • 中图分类

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