机译:基于MPW的CMOS-MEMS梳状谐振器的后微加工及其机械和热特性
机译:采用定制MPW芯片级制造工艺的65 nm CMOS单片集成CMOS-SMR振荡器
机译:用于单片高Q MEMS谐振器限制的偏振型独立带空隙
机译:高Q CMOS MEMS在MPW批处理中制造的谐振器振荡器
机译:亚纳质量负载的CMOS-MEMS悬臂谐振器振荡器,用于气体检测。
机译:通过表面微加工CMOS MEMS工艺制造的压阻温度传感器
机译:采用MPW批处理工艺制造的高Q CMOS MEMS谐振器振荡器