判斷化學機械研磨終點之方法

摘要

[[abstract]]本發明為一種利用研磨墊溫度之斜率變化判斷化學機械研磨終點之方法。本發明先設置至少一個載具，並利用載具將晶圓定位於表面鋪有研磨墊的旋轉工作台上，晶圓與研磨墊會相互旋轉摩擦；接著，使用量測設備量測至少一點之環境溫度以及量測至少一點之研磨墊溫度；之後，將量測到的研磨墊溫度減去上述之環境溫度，獲得溫度差值；最後，利用數值分析方法，計算出上述之溫度差值對時間的變化曲線，並利用該曲線之斜率與時間變化之關係，判斷出研磨終點。本發明之特點為可在不影響製程的情況下輕易在線上即時準確地判斷出研磨終點，避免先前技術無法在線上即時準確地判斷出研磨終點之缺陷。